近日，我國(guó)在8英寸碳化硅領(lǐng)域多番突破，中國(guó)電科48所8英寸碳化硅外延設(shè)備再升級(jí)，三義激光首批碳化硅激光設(shè)備正式交付，天岳先進(jìn)8英寸碳化硅襯底批量銷售，上海漢虹成功制備8英寸碳化硅晶體。8英寸碳化硅時(shí)代已呼嘯而來，未來將會(huì)有更多廠商帶來新的產(chǎn)品和技術(shù)，我們拭目以待。

關(guān)鍵突破！中國(guó)電科48所8英寸碳化硅外延設(shè)備再升級(jí)

近日，中國(guó)電科48所自主研發(fā)的8英寸碳化硅外延設(shè)備關(guān)鍵技術(shù)再獲突破。

圖片來源：中國(guó)電科

據(jù)中國(guó)電科官方消息，碳化硅外延爐是第三代半導(dǎo)體碳化硅器件制造的核心裝備之一。此次“全新升級(jí)”的8英寸碳化硅外延設(shè)備，具備更快、更好、更穩(wěn)定的特點(diǎn)，通過改進(jìn)激光視覺定位、晶圓自糾偏等技術(shù)，設(shè)備自動(dòng)化性能更加成熟，提升產(chǎn)品生產(chǎn)效率。設(shè)備還成功引入新的摻雜技術(shù)，進(jìn)一步提升產(chǎn)品良率，持續(xù)降低生產(chǎn)成本。

三義激光：首批碳化硅激光設(shè)備正式交付

9月5日，三義激光在官微透露，他們自主研發(fā)、生產(chǎn)的首批6&8英寸碳化硅激光滾圓設(shè)備順利完成生產(chǎn)并正式交付客戶，標(biāo)志著公司在高端激光加工設(shè)備領(lǐng)域取得了重要進(jìn)展。

圖片來源：三義激光

據(jù)悉，三義激光碳化硅激光設(shè)備能利用高能激光束進(jìn)行精準(zhǔn)加工，提高生產(chǎn)效率，降低損耗，提升產(chǎn)品良率，為碳化硅的精細(xì)加工提供了高效、精準(zhǔn)的解決方案，并具激光非接觸式加工、7×24小時(shí)無間斷工作、設(shè)備運(yùn)行無需耗材等優(yōu)

上海漢虹：制備8英寸碳化硅晶體

8月30日，上海漢虹官微宣布，他們?cè)诶?shí)驗(yàn)室中，使用自行研發(fā)制造的碳化硅長(zhǎng)晶爐成功拉制出高品質(zhì)8英寸碳化硅晶體，此晶體具備優(yōu)良的均勻性和低缺陷密度，直徑達(dá)到200毫米標(biāo)準(zhǔn)，電阻率和晶向均符合高端應(yīng)用要求。

據(jù)悉，該晶體的制備使用了上海漢虹自行研發(fā)制造的碳化硅長(zhǎng)晶爐，采用上進(jìn)料方式和自動(dòng)化控制，通過熱場(chǎng)旋轉(zhuǎn)及熱場(chǎng)工藝穩(wěn)定性設(shè)計(jì)，確保晶體生長(zhǎng)過程中的溫度均勻性和穩(wěn)定性，目標(biāo)為新能源汽車、5G通訊等新興產(chǎn)業(yè)的進(jìn)一步發(fā)展提供材料基礎(chǔ)。
天岳先進(jìn)8英寸碳化硅襯底批量銷售

近日，天岳先進(jìn)披露了今年上半年財(cái)報(bào)，公司 2024 年上半年實(shí)現(xiàn)營(yíng)業(yè)收入9.12億元，較上年同期增長(zhǎng) 108.27%。公司連續(xù)9個(gè)季度保持營(yíng)收增長(zhǎng)趨勢(shì)。上 半年實(shí)現(xiàn)歸母凈利潤(rùn)1.02億元，較上年同期扭虧為盈。

在技術(shù)研發(fā)上，天岳先進(jìn)自主擴(kuò)徑實(shí)現(xiàn)了2-8英寸碳化硅單晶和襯底的開發(fā)。目前該公司還在開發(fā)了液相法長(zhǎng)晶技術(shù)，這在行業(yè)內(nèi)僅有的極少數(shù)。階段性成果顯著，包括公司通過液相法實(shí)現(xiàn)了8inchN型4H-SiC單晶及襯底、P型4H-SiC單晶及襯底、N型3CSiC單晶及襯底等制備。

銷售方面，天岳先進(jìn)在8英寸襯底上進(jìn)行了前瞻性布局，已經(jīng)具備先發(fā)優(yōu)勢(shì)和領(lǐng)先地位。公司不僅實(shí)現(xiàn)8英寸碳化硅襯底國(guó)產(chǎn)化替代，公司8英寸碳化硅襯底已經(jīng)率先實(shí)現(xiàn)海外客戶批量銷售。擴(kuò)產(chǎn)方面，該公司上海臨港工廠二期 8 英寸碳化硅襯底擴(kuò)產(chǎn)計(jì)劃正在推進(jìn)中，公司將分階段達(dá)到規(guī)劃的8英寸襯底產(chǎn)能。